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層數可控的石墨烯微納結構快速制備裝置

815   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:55
本發明公開了一種層數可控的石墨烯微納結構快速制備裝置，包括激光控制及聚焦單元、溫度監控單元、激光光斑監測單元、真空及流量控制單元、六軸精密平移臺和氣浮隔振平臺；所述裝置采用激光輔助的化學氣相沉積的方法實現石墨烯微納結構快速制備，制備過程可對制備參數：激光功率，激光光斑大小，基底運動速度，氣體流量，真空腔腔壓，基底局部溫度場進行精密調節與監控，從而制備出高質量石墨烯微納結構。本發明裝置通過改變制備參數，可改變所合成的石墨烯的層數，實現層數可控的石墨烯微納結構的制備；本裝置還可以通過改變聚焦光斑的大小制備出不同線寬的石墨烯微納結構。
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