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碳化硅外延片去除外延再生襯底的方法

803   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:52
本發明公開一種碳化硅外延片去除外延再生襯底的方法，包括：(1)測量外延片的總厚度、平整度最大值以及其外延層上多個點的厚度；(2)計算外延平均厚度、減薄厚度；(3)根據外延平均厚度，依次通過粗砂輪對外延層進行第一減薄處理以及通過細砂輪對外延層進行第二減薄處理，或者直接通過細砂輪對外延層進行第二減薄處理；(4)通過雙面刷洗機對減薄處理后的外延片的兩面進行沖刷；(5)對多個外延片同時進行至少一次化學機械拋光，以完全去除各外延片的外延層。本發明的方法能夠加工更高效、精確更高的去除外延層，保留襯底厚度，并提高CMP的加工效率和質量，實現不合格外延片再生襯底的重利用。
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聲明：
“碳化硅外延片去除外延再生襯底的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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