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取代GPP工藝的新芯片的制備方法

1124   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:51
本發明公開了一種取代GPP工藝的新芯片的制備方法，經過擴散、一次勻膠、切割、蝕刻、一次去光刻膠、清洗、勻PI膠、PI膠預固化、二次勻膠、光刻、去除PI膠、二次去光刻膠、PI膠固化、點測、劃片和裂片工序，完成取代GPP工藝的新芯片的制備；本發明制備得到的產品替換玻璃鈍化保護的GPP芯片，其具有很低的漏電流、較強的機械性能以及耐化學腐蝕性能，同時，PI膠在擴散片表面形成的PI膜可以有效的阻擋潮氣，增加器件抗潮濕能力，改善了芯片電學性能，提高了芯片可靠性，而且本發明制備工藝簡單，生產成本低，熱處理溫度及能耗低。
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聲明：
“取代GPP工藝的新芯片的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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