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耐摩擦的鉑/石墨烯復合結構及其制備方法

1192   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:51
本發明公開了一種耐摩擦的鉑/石墨烯復合結構。該復合結構位于SiO2/Si襯底上，由石墨烯和金屬鉑的微結構陣列組成，其中石墨烯與襯底的SiO2層接觸，金屬鉑的微結構陣列生長在石墨烯的表面。本發明將Pt金屬微結構陣列與石墨烯構成一種復合耐摩擦結構，以提高石墨烯材料的摩擦特性。制備步驟：利用化學氣體沉積方法在Cu箔上生長石墨烯材料，石墨烯材料的層數控制在4到10層之間，再采用FeCl3溶液腐蝕Cu箔并將石墨烯轉移到SiO/Si襯底之上，然后利用掩模和磁控濺射的方法，在石墨烯的表面生長Pt金屬微結構陣列。經摩擦－磨損測試表明，本發明的復合結構具有非常優良的摩擦性能，其制備方法簡單，適合應用于一些需要耐摩擦的MEMS器件表面。
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