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石墨烯薄膜觸控面板的制造方法

1161   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:51
石墨烯薄膜觸控面板的制造方法，包括：通過化學氣相沉積制程使石墨烯薄膜生長于催化劑金屬上，再轉印石墨烯薄膜于基板上；在石墨烯薄膜上形成圖形化光罩；以強氧化劑接觸石墨烯薄膜未被光罩遮蔽的第一區域，以改變第一區域的官能基狀態，使第一區域形成絕緣體，石墨烯薄膜的第一區域以外的第二區域形成X或Y感測線路的圖案；以及去除光罩。藉由免蝕刻方式將石墨烯應用于觸控面板使石墨烯薄膜材料經強氧化劑反應后的物理結構依舊保持連續完整，本發明具有使電性圖形化但物理結構連續化的石墨烯薄膜進行轉印制程時不易破裂，以有效提高轉印制程的合格率。
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