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基于微機電系統的垂直探針

820   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:37
本實用新型公開了一種基于微機電系統的垂直探針，包括探針主體，所述探針主體包括第一端部、第二端部，以及位于第一端部、第二端部之間，分別與第一端部、第二端部相連的彈性連接部，所述第一端部、第二端部、彈性連接部為一體結構，所述彈性連接部與所述第二端部形成連續的半圓弧狀結構，所述探針主體采用光化學蝕刻制作而成。本實用新型的垂直探針的尺寸誤差較小，產品的一致性較好，從而避免了在測試過程中由于尺寸誤差導致的測試誤差。
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聲明：
“基于微機電系統的垂直探針” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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