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機臺腔體監控裝置

1004   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:37
本實用新型提供了一種機臺腔體監控裝置，包括：溫度傳感器，用以測量腔體內半導體上覆蓋的液體層的溫度；圖形傳感器，用以測量腔體內半導體上覆蓋的液體層的形態。據此，采用本實用新型提供的機臺腔體的監控裝置，能夠直接監控清洗或濕法刻蝕化學反應處的實時溫度、實時反應物接觸情況（液體膜層在半導體上覆蓋的情況），從而能夠采集到對工藝影響的更直接的技術參數，提升了清洗或濕法刻蝕工藝的工藝精度，擴大了該工藝的適用半導體加工的技術節點范圍。
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