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鎂合金表面制備釔/氮化硅復合涂層材料的方法

1001   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:36
一種鎂合金表面制備釔/氮化硅復合涂層材料的方法，涉及鎂合金表面復合涂層材料。提供膜厚可控，具有良好抗腐蝕性能的一種鎂合金表面制備釔/氮化硅復合涂層材料的方法?；w前處理；靶材預濺射；直流濺射沉積過渡層金屬Y膜；射頻反應濺射沉積外層非晶態Si3N4膜。使用金屬Y作為過渡層，然后在過渡層的基礎上射頻反應濺射沉積非晶態Si3N4膜法。在一定沉積壓強、溫度、氣體流量等條件下，通過改變濺射時間，制備出各層膜厚可控具有超強抗腐蝕性能的Y/Si3N4復合涂層材料。通過動電位極化曲線和交流阻抗的電化學測試以及析氫試驗和鹽霧試驗的實際使用測試，結果表明表面覆蓋Y/Si3N4復合涂層的鎂合金擁有良好的抗腐蝕性能。
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