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基于MEMS的量熱計及其制造和使用

1059   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:36
提供了基于MEMS的量熱計，該量熱計包括在聚合層上形成的薄膜基板中支撐的兩個微腔室。該薄膜基板包括配置為測量這兩個微腔室之間的溫度差的熱電傳感器，并且也包括熱穩定和高強度的聚合物膜片。也提供了用于制造該基于MEMS的量熱計的方法，以及利用該量熱計來測量諸如生物分子的材料的熱性質，或者化學反應或物理相互作用的熱力學性質的方法。
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