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微加工超聲換能器器件的自適應腔體厚度控制

989   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:35
一種形成超聲換能器器件的方法包括：在襯底上形成膜堆并將該膜堆圖案化，該膜堆包括金屬電極層和形成在金屬電極層上的化學機械拋光(CMP)停止層；在該圖案化的膜堆上形成絕緣層；將該絕緣層平坦化到該CMP停止層；測量該CMP停止層的剩余厚度；以及在該圖案化的膜堆上形成隔膜支撐層，其中，該隔膜支撐層形成的厚度取決于該CMP停止層的測得的剩余厚度，使得該CMP停止層和該隔膜支撐層的組合厚度對應于期望的換能器腔體深度。
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