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用質子交換制造鈮酸鋰光波導的方法及其裝置

771   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:28:35
用質子交換制造鈮酸鋰光波導的方法及其裝置， 主要包括清洗襯底片、在襯底片上制備掩膜、光刻出波導圖形、 質子交換、退火、端面拋光、波導調整與檢查步驟。本發明由 于將質子交換的質子源采用用苯甲酸鋰稀釋的苯甲酸混合溶 液，根據質子交換的化學反應原理，在苯甲酸中摻入苯甲酸鋰 增加了溶液中鋰離子濃度，改變了反應中H+到Li+的平衡，使H+濃度降低，由此降低了反應速度和鋰離子交換量，使波導與襯底的折射率差減小。結合退火得到更適于與光纖耦合的折射率分布，同時使苯甲酸的腐蝕作用降低，減少了波導缺陷，降低了波導自身的損耗。
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