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維持室內污染物濃度穩定的潔凈室

893   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:23:06
本實用新型公開了一種維持室內污染物濃度穩定的潔凈室，可用于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房的潔凈室，包括潔凈空間和回風通道；所述潔凈空間從上到下包括架構空間、潔凈空間和循環空間，架構空間和潔凈空間之間設有天花板；所述天花板上設有復數個風機濾器單元；所述循環空間和/或回風通道內設有復數個過濾單元，所述過濾單元包括化學過濾器和風機；還包括污染物濃度監測機構和控制系統。本實用新型的潔凈室可以用于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房，在循環空間和/或回風通道內設有復數個過濾單元，從而將化學過濾器過濾的潔凈空氣和直接從潔凈空間出來的空氣進行預混合，因而實現了維持潔凈空間內污染物濃度恒定的控制。
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“維持室內污染物濃度穩定的潔凈室” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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