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水電阻率探頭的安裝結構

1096   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:23:06
本實用新型涉及一種水電阻率探頭的安裝結構，屬于集成電路或分立器件芯片制造技術領域。包括U型連接接頭，所述U型連接接頭兩接口朝上設置且分別設于QDR外槽出水口下方，所述U型連接接頭一接口與QDR外槽出水口通過連接管連接，所述U型連接接頭另一接口與水電阻率探頭接頭連接，所述水電阻率探頭接頭內設置水電阻率探頭。所述連接管、U型連接接頭和水電阻率探頭接頭分別為PVC材質制成件。本申請增加了水流過水電阻率探頭時的流速，提高了水電阻率探頭測試反應快速和準確性；能夠對晶圓化學清洗后的沖水效果進行實時的監控，防止有沖水不徹底、化學試劑殘留等導致對芯片質量的影響。
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