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結構優化的半導體沉積用前驅體容器

1179   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:23:06
本實用新型提供了一種結構優化的半導體沉積用前驅體容器，包括進口管路、出口管路、吹掃管路、導波雷達液位計以及容器，容器內壁經過鈍化處理；進口管路與出口管路均與容器內部連通，吹掃管路連通進口管路與出口管路；導波雷達液位計設置在容器上，導波雷達液位計通過連接件連接容器；進口管路上在進口管路與吹掃管路的連接點和進口管路的兩端之間均設置有閥門，出口管路上在出口管路與吹掃管路的連接點和出口管路的兩端之間均設置有閥門，吹掃管路上設置有閥門。本實用新型有效減少生產管路中化學品的殘留，避免了顆粒物的產生，提高了生產的穩定性和良品率；采用導波雷達液位計能夠精確測量化學品液位，增加產品使用率，提高生產管理效率。
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