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高效、高精度紅外石英加熱器

804   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:23:05
本發明公開了一種高效、高精度溫控紅外石英加熱器。包括鹵鎢燈、吹掃組件、石英加熱組件、溫度傳感器和控制器，石英加熱組件的兩端各安裝有吹掃組件，石英加熱組件的內部安裝有鹵鎢燈，鹵鎢燈的兩端分別與石英加熱組件兩端的吹掃組件相連，石英加熱組件內設置有加熱液，溫度傳感器固定安裝在石英加熱組件的加熱液出口處，溫度傳感器和鹵鎢燈均與控制器相連。與現有技術相比，本發明可以精確測量加熱液溫度，提高加熱效率并且通過吹掃組件延長鹵鎢燈壽命，節約更換燈管的經濟成本和時間成本?；瘜W品液體潤濕表面均為半導體級石英玻璃，耐腐蝕能力強，能夠滿足半導體濕法處理領域所需化學品的高潔凈度、快速響應等加熱需求。
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“高效、高精度紅外石英加熱器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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