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可定位薄區位置的透射電鏡樣品制備裝置及方法

921   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:23:05
本發明屬于材料測試領域，具體為一種可定位薄區位置的透射電鏡樣品制備裝置和方法。包括電化學反應單元，原位觀察單元，樣品安裝單元，拋光定位單元，圖像采集單元和控制系統；電化學反應單元采用陰極拋光針對與陽極連接的樣品的電解拋光；原位觀察單元用于觀察樣品的側面和正面，確定并定位陰極拋光針相對樣品表面的距離；試樣安裝單元用于安裝樣品，并調節樣品的位置；拋光定位單元用于調節陰極拋光針相對于樣品表面的位置和距離；圖像采集單元用于采集樣品的實時圖像并顯示于控制系統。本發明具有在局部電解拋光過程中不會引入離子注入的特點，可以實現對于需要拋光區域進行精準定位等優點，為微尺度樣品的結構表征提供新的樣品制備方法。
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