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MoS2上低維AlN材料制備方法及應用

1043   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:23:05
本發明公開了一種MoS2上低維AlN材料制備方法及應用，應用在光電探測器領域，通過化學氣相沉積法在二氧化硅層制備不同厚度的二維MoS2材料層在電子束蒸發中，制備不同厚度的Al層正度，采用等離子體化學氣相沉積法，制備不同厚度的低維ALN材料層生長，所述二維MoS2材料層及低維AlN材料層構成高肖特基勢壘，形成內建電場。本發明實現二維MoS2上低維AlN生長，構建了結型異質結，表現出自供電效應和很高的深紫外光響應度、快速響應能力。
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“MoS2上低維AlN材料制備方法及應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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