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自動決定反應爐管的清潔過程終點的方法

1028   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:23:04
本發明涉及一種自動決定反應爐管的清潔過程終點的方法,其適用于低壓化學氣相沉積機臺。本發明的方法為,將清潔氣體導入反應爐管中,使清潔氣體在特定溫度下產生化學反應。然后,連續量測反應爐管的多個位置的溫度。接著,監控上述位置其中之一的溫度變化,直至溫度收斂到特定溫度的允許偏差值內。繼而,監控全部的上述位置的溫度變化,至溫度收斂到特定溫度的允許偏差值內。接著,進行一段時間的過蝕刻步驟,即停止反應爐管的清潔過程。
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“自動決定反應爐管的清潔過程終點的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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