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非線性光學增強氮化硅薄膜制備方法

753   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:20:20
本發明公開了一種非線性光學增強氮化硅薄膜制備方法，該發明屬于薄膜非線性光學技術領域。該發明采用原子層薄膜沉積技術制備氮化硅薄膜，通過調控前驅物組份的化學計量比，實現氮化硅薄膜非線性光學增強的效果。具體是指將潔凈的襯底放置在鍍膜夾具后，利用原子層沉積方法獲得氮化硅薄膜，采用流量控制方式，實現硅氮元素化學計量比控制在1：10?10：1范圍內，膜層厚度范圍20?300nm。通過Z掃描的方法測試氮化硅薄膜的非線性光學特性。根據本發明的方法制備的氮化硅薄膜性能優異，能夠應用于吸收型光開關或吸收型光雙穩器件等領域。另外，本發明關于一種氮化硅薄膜非線性光學增強的制備方法操作簡單，制備周期短，成本低，效果顯著。
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“非線性光學增強氮化硅薄膜制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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