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金剛石紅外增透濾光窗口及其制備方法

1167   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:20:18
本發明是一種金剛石紅外增透濾光窗口及其制 備方法。目前金剛石薄膜窗口透光波段的研究及應用局限在 2.5—25μm范圍, 使用中受到限制。本發明用電子束輔助熱燈 絲化學氣相沉積方法; 兩步法高密度成核金剛石優化生長工藝 多光束干涉法薄膜厚度監控, 克服了光在近紅外波段的散射問 題, 研制成功具有光學鏡面級表面的金剛石薄膜, 制得的窗口用 于近紅外(1.1—1.8μ)探測器, 靈敏可靠, 抗高溫, 抗腐蝕, 抗水, 抗 塵, 堅硬耐磨, 維護方便。
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“金剛石紅外增透濾光窗口及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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