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半導體制造裝置及半導體裝置的制造方法

872   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:20:15
實施方式涉及一種半導體制造裝置及半導體裝置的制造方法。實施方式的半導體制造裝置包括：載臺，具有多個銷，用于保持半導體襯底，所述半導體襯底具有形成了蝕刻對象膜的第1面、及位于第1面相反側的第2面；噴嘴，從載臺的上方向半導體襯底的第1面噴出化學藥品；以及光測量部，在化學藥品的噴出過程中，從載臺側向半導體襯底的第2面照射光，并基于被第2面反射的光的受光狀態來測量半導體襯底的移位量。
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