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大面積的光學性能合成多晶金剛石窗口

1154   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:17:30
一種多晶化學氣相沉積(CVD)金剛石晶片包括：等于或大于125mm的最大線性尺寸；等于或大于200μm的厚度；以及在室溫下(標稱298K)在多晶CVD金剛石晶片的至少中心區域上測量的以下特性中的一個或兩個，所述中心區域是圓形的，以多晶CVD金剛石晶片的中心點為中心，并且所述中心區域的直徑是多晶CVD金剛石晶片的最大線性尺寸的至少70％：在10.6μm處，吸收系數≤0.2cm-1；以及在145GHz時介電損耗系數為tanδ≤2×10-4。
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