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真空隔熱的MEMS流量傳感器及其制作方法

1132   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:17:29
本發明公開了一種真空隔熱的MEMS流量傳感器及其制作方法，該流量傳感器包括：襯底，設有真空密閉隔熱腔體；第一介質層，形成于襯底的上表面；加熱元件、感溫元件及金屬電極，形成于第一介質層的上表面，其中感溫元件對稱分布在加熱元件的兩側，加熱元件及感溫元件局部位于隔熱腔體的上方；第二介質層，覆蓋加熱元件、感溫元件、金屬電極及通孔，且局部刻蝕出接觸孔。本發明的MEMS流量傳感器利用低壓力化學氣相沉積法的“保形效應”形成真空密閉隔熱腔體，一方面可提高隔熱腔體的隔熱性能，另一方面可減少被測流體與隔熱腔體之間的對流熱損失，從而有利于降低器件功耗，并增大上下游感溫元件之間的溫差，有效提高器件靈敏度。
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“真空隔熱的MEMS流量傳感器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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