本發明提供了一種Bi0.96Sr0.04Fe0.98?xMnxCo0.02O3多鐵薄膜及其制備方法。以硝酸鹽和醋酸錳等為原料,乙二醇甲醚和醋酸酐為溶劑。在基片上采用旋涂法和逐層退火的工藝制備了Bi0.96Sr0.04Fe0.98?xMnxCo0.02O3多鐵薄膜。本發明采用溶膠-凝膠工藝,設備要求簡單,適宜在大的表面和形狀不規則的表面上制備薄膜,制備的薄膜均勻性較好,且化學組分精確可控。通過離子摻雜,有效地提高了薄膜的鐵電和鐵磁性能。該薄膜在最大測試電場為700kV/cm的電場下,剩余極化強度為102~170μC/cm2,矯頑場為290~463kV/cm;室溫下,該薄膜的飽和磁化值為2.85~3.8emu/cm3,剩余磁化值為0.38~0.5emu/cm3。
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