一種銅蝕刻液預處理系統,包括依次連通且相鄰設置的反應池、壓濾機及濾芯過濾設備,反應池用于銅蝕刻液與藥劑發生化學反應,壓濾機用于將反應池中銅蝕刻液與藥劑發生化學反應后的溶液過濾以得到濾液,濾芯過濾設備用于將壓濾機中的濾液再次過濾以得到預處理后的銅蝕刻液,濾芯過濾設備包括殼體、收容于殼體內的濾芯及出液管道,殼體設有進液口和出液口,進液口用于壓濾機中的濾液進入殼體,出液管道安裝于出液口,出液管道的管壁靠近出液口的位置設有取樣口。如此先后通過壓濾機和濾芯過濾設備兩次過濾,避免了采用壓濾機一次過濾導致銅蝕刻液工作液不純的問題,且取樣口便于隨時檢查銅蝕刻液是否符合標準,進而提高了銅蝕刻液的純度。
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