本發明涉及一種多元氧化物陶瓷濕敏元件。本 發明是將脫水酸酐ZrO2.SiO2、Nb2O5和P2O5在空 氣中高溫燒結而成??刂平M分化學比的偏離和摻雜 濃度,能夠改變元件的溫敏特征。本發明制作的濕敏 元件在低濕度下阻抗低,適用范圍廣,響應時間短,能 提供多種信息。元件結構和制作工藝簡單,無旁熱裝 置和鋼絲網外殼,成本低,成品率高。這種元件可測 量大氣濕度,也能測定某點濕度,廣泛應用于濕度測 量、控制和管理的技術領域。
聲明:
“多元氧化物陶瓷濕敏元件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)