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生產金鋼石的裝置和方法

1090   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:14:36
一種在沉積室內生產金剛石的裝置,包括:用于夾持金剛石并與金剛石的鄰近于其生長面的一邊的側面熱接觸的散熱夾具;設置用來測量沿金剛石生長面的溫度的非接觸式溫度測量裝置;和用于接收來自上述非接觸式溫度測量裝置的溫度測量數據并控制生長面的溫度使沿生長面的所有溫度梯度小于20℃的總過程控制器。一種生產金剛石的方法,包含如下步驟:在夾具內安置金剛石使之與金剛石的鄰近于其生長面的一邊的側面熱接觸,測量金剛石生長面的溫度并得出溫度測量數據;根據上述溫度測量數據控制生長面的溫度;和在生長面上按微波等離子化學蒸氣沉積法生長單晶金剛石,其中,金剛石生長速率大于1μm/h。
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