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原子層沉積裝置和方法

1046   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:14:36
在本發明中提供了一種用于原子層沉積的裝置和方法,該裝置和方法能減小化學用品和反應氣體的混合。通過安裝和監測前級管道(26),第一產物母體和第二產物母體只有在合適的時間和位置處才能與其它化學藥品和反應氣體混合。還有,提供了獨立和專用的腔室出口(17、29)、隔離閥(24、34)、排氣前級管道(22、36)和排氣泵(20、30),它們在需要時用于驅動特定氣體。
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聲明：
“原子層沉積裝置和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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