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石墨烯生長爐管內的石英管的清洗方法

1062   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:13:38
本發明涉及一種石墨烯生長爐管內的石英管的清洗方法，包括以下步驟：步驟一，將石墨烯生長爐的爐體升溫至600-900℃并保持恒溫，同時向石墨烯生長爐內的石英管內通入氧氣，持續時間1-2小時；步驟二，待石墨烯生長爐的爐體內溫度降至室溫，使用含有硝酸鐵的高嶺土擦拭石英管內壁，直至石英管內壁上的附著物消失；步驟三，移除石英管內的高嶺土，使用沾取酒精的無塵布擦拭石英管整個腔體；步驟四，待石英管內目檢無殘留物后，向石英管內通入氮氣吹掃。本發明采用氧氣燃耗的方法，除去碳物質殘留，利用機械摩擦以及化學試劑去除生長基底物質殘留，不需采購專用清洗機臺，節省不菲的設備購置費，不需拆卸爐體內石英管，節省了設備維護時間。
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聲明：
“石墨烯生長爐管內的石英管的清洗方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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