一種中子摻雜晶體熱處理工藝方法,它包括下述步驟:1)中子摻雜后的晶體的清洗,清洗包括:純水清洗和與混酸的化學反應以及之后的清洗;混酸中硝酸與氫氟酸的體積比范圍為8∶1到3∶1;2)在熱處理前,在樣片的兩端放置隔離物,隨后進行熱處理;3)將以上晶體按照一定的加熱過程進行熱處理;4)熱處理過程結束后,對晶體進行表面噴砂處理或研磨處理后檢驗從而驗證該工藝方法的效果。本發明的優點是處理工藝簡便,效果好,可提高熱處理后晶體的少子壽命。
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