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環保型六氟化硫/氮氣混合氣體分離回收裝置及方法

1136   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:13:37
本發明公開一種環保型六氟化硫/氮氣混合氣體分離回收裝置，其特征在于，包括壓力監測模塊、三通轉換閥、直通閥組、增壓閥組、高真空閥組、化學處理裝置、混合氣體分離裝置和壓縮回收裝置；六氟化硫/氮氣混合氣體氣室通過壓力監測模塊連接三通轉換閥的入口，三通轉換閥的第一出口通過增壓閥組連接混合氣體分離裝置的入口，三通轉換閥的第二出口通過直通閥組連接混合氣體分離裝置的入口，三通轉換閥的第三出口通過高真空閥組連接混合氣體分離裝置的入口；混合氣體分離裝置的出口依次連接化學處理裝置和壓縮回收裝置。整個分離回收過程全程無泄漏，又可以回收重復利用SF6氣體，既滿足環保要求，又可以降低生產成本。
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