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基于光彈性原理的柔性微探針及其使用方法

1000   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:13:36
本發明公開了一種基于光彈性原理的柔性微探針及其使用方法，本發明所述的基于光彈性原理的柔性微探針為以SU-8膠為材料的整體結構，包括微探針受力端和微探針基體，所述微探針基體包括基體端部和基體尾部，所述基體端部和微探針受力端設置于基體尾部的同一側，形成微探針結構，通過測量透過柔性鉸鏈應力測量區與測量光路的偏振光光強改變量，建立起與微探針受力端處所受力的大小的關系，即可實現微力的測量。本發明以SU-8膠為微探針材料，加工工藝成本低、穩定性強，具有抗化學腐蝕性、良好的力學性能和生物兼容性、光應力系數大等優點。并且本發明為整體結構，無需裝配，制作簡單，有助于實現生物醫學、材料化學等領域微操作技術的實用化。
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