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基于光學游標效應的法布里帕羅結構耦合腔傳感芯片

967   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:13:35
本實用新型屬于光學傳感器技術領域，具體為一種基于光學游標效應的法布里帕羅結構耦合腔傳感芯片。本實用新型的傳感芯片包括三塊平面反射鏡以及兩個方形石英微管；兩塊平面反射鏡與兩個方形石英微管中間形成傳感腔；中間平面反射鏡與下部平面反射鏡形成參考腔；方形石英微管為中空結構，兩端開口，可以與微流空系統結合；本實用新型可將傳統法布里帕羅諧振腔傳感芯片的靈敏度進行20?40倍的放大，避免了傳統法布里帕羅諧振腔傳感器對高品質因子的需求，可以實現對于超低微量濃度、超小物理量的化學生物試劑的檢測；此法布里帕羅結構耦合腔制作方便，操作簡單，整體設計成本較低。
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“基于光學游標效應的法布里帕羅結構耦合腔傳感芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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