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基于金屬氧化物半導體薄膜材料的H2S氣體傳感器及其制備方法

916   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:30
一種基于金屬氧化物半導體薄膜納米材料的H2S氣體傳感器及其制備方法，屬于半導體氧化物氣體傳感器技術領域。首先是在氧化鋁陶瓷襯底的金叉指電極上制備種子層，在種子層的基礎上采用電化學沉積的方法，將金屬材料沉積在電極上，熱退火后得到金屬氧化物半導體薄膜材料。以制備的NiO/CuO薄膜納米材料為例，對低濃度的H2S氣體表現出較高的響應，在檢測H2S含量方面有很好的應用前景。該制備方法的條件溫和，合成方法簡單，成本低廉，實驗周期短，并且具有很好的重現性，因此具有重要的應用價值。
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