本發明涉及太陽電池制造,公開了一種高效太陽電池新型圓角集成旁路二極管的制造方法,包括1、圓角集成旁路二極管圖形光刻版設計與制作;2、圓角集成旁路二極管圖形濕法化學腐蝕隔離槽;3、背面電極蒸發Pd/Ag/Au;4、集成二極管正面電極光刻版防短路設計與蒸發;5、減反射膜蒸發AlO/TiO;6、劃片機電池分離;7、檢測,本發明解決了這種太陽電池易受靜電擊穿和產量限制等問題,取得了成本低廉、實現十幾層化合物半導體材料大面積均勻刻蝕、時間可控、可重復性高,以及器件可靠性改善等有益效果。
聲明:
“高效太陽電池新型圓角集成旁路二極管的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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