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選擇性發射極電池掩膜的制備方法

1170   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:27
本發明公開一種選擇性發射極電池掩膜的制備方法，其特征在于它包括以下步驟：將印有刻蝕二氧化硅掩膜的硅片送入等離子體增強化學氣相沉積法PECVD反應爐腔，爐腔內壓強抽真空；升高壓強，同時通入N2O；檢測爐管壓強，30s內降低壓強；進行預沉積處理，通入NH3、SiH4和N2O；沉積處理，同時向爐管內通入NH3、？SiH4？和N2O；沉積完畢后降溫，同時通入N2進行吹掃及冷卻處理。本發明方法制作氮氧化硅掩膜的低溫效果降低了溫度對硅片少子壽命的影響，同時在二次擴散時不會因為高溫導致部分氫鍵斷裂造成氮化硅掩膜結構損傷而引起掩膜功能失效，掩膜效果優于氮化硅薄膜，同時還能阻擋其他雜質金屬離子，降低硅片污染。
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