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真空紫外燈結構及其制備方法、光離子化傳感器

1089   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:05
本發明涉及光離子化氣體檢測技術領域，尤其涉及一種真空紫外燈結構及其制備方法、光離子化傳感器，真空紫外燈玻璃外殼的一端開口處設有真空紫外窗，真空紫外燈玻璃外殼內部形成一封閉的腔室，腔室內填充有工作氣體；真空紫外窗的表面上固定設有第一接觸件、第二接觸件以及收集電極結構，收集電極結構包括至少兩組相互絕緣的電極結構，第一接觸件和第二接觸件分別與兩組電極結構電連接。本發明的有益效果是：本發明將離子化腔、收集電極結構、真空紫外燈玻璃外殼結合為一個整體，實現了原位對化學氣體的離子化與收集，極大地簡化了光離子化傳感器的光離子化和離子收集結構，降低了離子化腔的零件結構數量和復雜度。
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