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場效應管氫氣傳感器及其制備方法

1213   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:04
本發明公開了一種場效應管氫氣傳感器及其制備方法，屬于氣體傳感器領域。主要特點是將氫氣敏感薄膜與場效應晶體管進行集成，利用場效應管將氫氣敏感薄膜與氫氣作用發生的物理化學變化轉化為電信號，放大實現對低濃度氫氣的檢測。本發明的氫氣傳感器具有功耗低、靈敏度高和易于集成的特點。
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