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陶瓷微結構石墨烯氣體傳感器及其制造方法

972   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:04
一種陶瓷微結構石墨烯氣體傳感器及其制造方法，本發明屬于傳感器技術領域，具體涉及一種陶瓷微結構石墨烯氣體傳感器及其制造方法。本發明是為了解決陶瓷異質材料上石墨烯CVD生長、修飾困難和傳感器結構尺寸大的問題。本發明采用MEMS工藝技術在陶瓷異質材料基片制作傳感器加熱電阻和信號輸出電極，采用PVD技術在基片上制作石墨烯生長的種子層，用CVD技術實現石墨烯在種子層上的生長，用化學修飾手段實現對石墨的功能化修飾，完成石墨烯氣體傳感器的制備。本發明的傳感器具有性能高、尺寸小的特點，通過傳感單元的陣列化集成用于多種氣體濃度同時檢測。
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