合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 在鉬基片上沉積的釕薄膜及其制備方法

在鉬基片上沉積的釕薄膜及其制備方法

1056   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:04
一種在鉬基片上沉積的釕薄膜及其制備方法，采用磁控濺射法在Mo襯底上制備了Ru薄膜，利用真空退火爐、EDS、XRD，臺階儀及納米劃痕儀等設備研究了不同退火溫度對Ru薄膜化學成分、相結構、殘余應力及膜基結合力的影響。結果表明，不同退火溫度處理下的Ru薄膜呈六方Ru結構，具有擇優取向。當退火溫度小于300℃時，退火有利于改善薄膜結晶質量，起到釋放殘余應力及提升膜基結合力的作用；隨退火溫度的進一步升高，殘余應力進一步釋放，此外，Ru薄膜中檢測到了氧，薄膜中氧化相的出現導致膜基結合力降低。
登錄解鎖全文
聲明：
“在鉬基片上沉積的釕薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：TiO2納米棒陣列薄膜電極材料的制備方法及其應用
下一個：巴瑞克替尼中間體的制備方法

與 “在鉬基片上沉積的釕薄膜及其制備方法” 相關技術

? 固態電池封裝用耐高壓聚氨酯材料及其制備工藝
? 全固態電池及其制備方法、用電設備
? 環保材料攪拌裝置
? 化工材料加工用的臥式反應釜
? 鋁基復合材料半連續鑄棒的制備裝置及方法
? 環氧硅烷偶聯劑改性粉煤灰/聚氨酯復合材料及其制備方法
? 尾礦濃密充填系統及充填工藝
? 環保型聚合氯化鋁絮凝劑
? 自動化大型鋅鍋撈渣機
? 立軸巖心鉆機用動力頭

相關化學分析設備推薦

快速溫變（濕熱）試驗箱
數顯臺式洛氏顯微硬度測量儀
涂層磁性金屬表面涂鍍層二用測厚儀
7天無側限抗壓試驗機
機械載荷試驗機/靜、動態載荷試驗
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?固態電池封裝用耐高壓聚氨酯材料及其制備工藝
?全固態電池及其制備方法、用電設備
?環保材料攪拌裝置
?化工材料加工用的臥式反應釜
?鋁基復合材料半連續鑄棒的制備裝置及方法
?環氧硅烷偶聯劑改性粉煤灰/聚氨酯復合材料及其制備方法
?尾礦濃密充填系統及充填工藝
?環保型聚合氯化鋁絮凝劑
?自動化大型鋅鍋撈渣機
?立軸巖心鉆機用動力頭

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
2025年07月17日 ~ 19日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
6 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX