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PtSx高性能光電器件及其制備方法和應用

740   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:03
本發明涉及一種PtSx高性能光電器件及其制備方法和應用，包括由下自上依次生長的基底、PtSx薄層、兩個電極，所述基底的上表面生長有所述PtSx薄層，所述PtSx薄層的上表面設有所述兩個電極，1≤x≤2，PtSx薄層通過化學氣相沉積法，利用硫化氫氣體、氫氣和氬氣的混合氣體，在高溫條件下硫化圖形化金屬鉑薄層獲得。光電器件通過圖形化金屬硫化和電極沉積工藝制備，可大面積制備PtSx薄膜和光電器件。本發明所公開的光電器件具有寬光電響應窗口，光電性能高，穩定好，檢測靈敏度高，超高的外量子效率，制作簡單，成本低，在光電子器件、氣體傳感器和電子器件領域具有極大的應用潛力。
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