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鋸齒形流道單向壓電微泵

1082   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:57:13
本發明提供的是一種鋸齒形流道單向壓電微泵。它包括泵體、泵蓋和驅動裝置,泵蓋上開有泵腔、流體進、出口鋸齒形流道等結構,泵蓋上開有進口與出口,泵體與泵蓋鍵合在一起,驅動裝置由PDMS壓電薄膜和壓電陶瓷片粘結在一起,PDMS薄膜與泵體采用不可逆粘結法粘結在一起。本發明的微泵體積小、結構簡單、操作方便,適合批量化生產,并且由于沒有移動部件,微泵壽命相對較長。本發明的產品可廣泛用于儀器儀表、醫療器械、化學分析、藥物食品以及航空航天等領域。
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“鋸齒形流道單向壓電微泵” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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