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基于石墨烯的中紅外高靈敏度電可調傳感器

1148   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:57:11
本實用新型提供一種基于石墨烯的中紅外高靈敏度電可調傳感器，其組成包括：摻雜硅基板（1）、SiO2介質基板（2）、石墨烯層（3）、直流電源（4）、Au電極（5a、5b）、橢圓形凹槽（6）、矩形凹槽（7）；所述石墨烯層和所述摻雜硅基板至少覆蓋所述測試電極。本實用新型的基于石墨烯的中紅外高靈敏度電可調傳感器采用“金屬?介質?金屬”結構，整體結構簡單，以便降低批量制造的難度和成本；本實用新型的基于石墨烯的中紅外高靈敏度電可調傳感器對常見污染氣體具有較高的靈敏度和品質因數，結合諧振腔提高檢測的性能；本實用新型的基于石墨烯的中紅外高靈敏度電可調傳感器具有性能可調性和工作頻段可調性，利用所述電極和所述外加直流電源，從而改變石墨烯的化學勢而改變諧振模式。
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“基于石墨烯的中紅外高靈敏度電可調傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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