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拉曼增強襯底的制作方法

801   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:57:10
本發明為一種拉曼增強襯底的制作方法。本發明將基底（無機襯底）放入等離子體化學氣相沉積系統中的生長區域，通入含有碳元素的反應源氣體，控制反應源氣體的氣壓值為0.01Torr?760Torr；控制基底溫度在300?1200℃，開等離子體電源，設定等離子體功率為1?1000W，使反應源氣體分子裂解，活性基團在等離子體的作用下發生反應，在基底表面，生成石墨烯量子點，通過調控生長溫度和生長時間，制備不同尺寸的石墨烯量子點拉曼增強襯底。在所制備的拉曼增強襯底表面滴需要檢測分子的溶液，通過激光拉曼儀器，測得高靈敏的拉曼增強信號。本發明制備的拉曼增強襯底，無污染，靈敏度高，可大面積制備，制備步驟簡單容易實現。
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聲明：
“拉曼增強襯底的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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