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帶焊球面陣列四面扁平無引腳封裝件制備方法

933   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:54:11
一種帶焊球面陣列四面扁平無引腳封裝件制備方法，晶圓減薄劃片；裸銅框架正面貼干膜；形成凹槽，裸銅框架刻出第三凹槽和引腳槽；涂第一鈍化層，第三凹槽底面的第一鈍化層刻UBM1窗口、鍍UBM1層；倒裝芯片，芯片凸點與UBM1層接觸，下填充；塑封框架正面；磨削框架背面涂第二鈍化層，刻出第五凹槽，引腳底面涂第三鈍化層，刻出第六凹槽，第三鈍化層化學鍍銅層，刻出第七凹槽；銅層涂第四鈍化層，刻出UBM2窗口；化學沉積UBM2層；回流焊形成錫球；包封后固化第四鈍化層；打印分離檢測，得帶焊球面陣列四面扁平無引腳封裝件。該制備方法保證UBM性能質量，可以代替部分基板生產CSP封裝器件，降低生產成本，縮短研發周期。
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