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微流量傳感器及其制作系統和方法

823   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:45:48
本發明一種微流量傳感器及其制作系統和方法；所述傳感器包括作為基底的壓電薄膜，設置在壓電薄膜正面或反面的微絨毛陣列，以及壓電薄膜的正反兩面分別設置的傳感器電極；微絨毛陣列能夠在氣體或者液體的沖擊下產生彎曲；壓電薄膜將微絨毛陣列中彎曲變形的絨毛所引起的基底形變轉換成電信號輸出；傳感器電極用于檢測壓電薄膜輸出的電信號。通過單管探針局部電化學沉積的方法，在控制主機的實時監測和控制微位移執行器運動下，在壓電薄膜上生長出絨毛陣列傳感器。當陣列受到微流體不同方向沖擊時，其微絨毛產生相應的應變，帶動絨毛根部的壓電薄膜產生微小形變，該形變在壓電薄膜兩極上產生微電壓，通過實時監測微電壓信號幅值進行微流量檢測。
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