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基于納米錐針結構的SERS基底及制備方法

878   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:41:37
本發明涉及一種基于納米錐針結構的SERS基底及制備方法，屬于光譜分析領域。包括基材，基材表面具有周期性排列的納米錐針結構，納米錐針結構包括由第一材料構成的第一層，由第二材料構成的第二層，基材及納米錐針結構表面包覆由第三材料構成的第三層，第三層上沉積的金屬納米顆粒，基材由第一材料構成。在硅片上生成SiO2層，采用自組裝方式將聚苯乙烯膠體球附著在SiO2層上，通過退火或反應離子刻蝕對聚苯乙烯膠體球進行尺寸調控；通過金屬輔助化學刻蝕或干法刻蝕進行刻蝕；通過化學腐蝕獲得納米錐針結構；在硅片上沉積金，通過電化學法沉積金納米顆粒。此基底靈敏度高、重復性好、成本低、適用于大規模生產。
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“基于納米錐針結構的SERS基底及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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