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用于提高AL-SiC基板防腐能力的處理方法

935   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:41:37
本發明提出一種用于提高AL?SiC基板防腐能力的處理方法，首先對AL?SiC基板表面進行噴丸封孔處理，之后對AL?SiC基板進行有機溶劑除油、酸活化以及二次浸鋅處理，最后對AL?SiC基板先化學鍍高磷鎳60min～90min，再化學鍍低磷鎳30min～50min。本發明增加噴丸處理，可以降低Al?SiC基板鑄造缺陷，而且提高電鍍后鍍層質量，從電鍍后鍍層表面存在大量蝌蚪狀氣流痕改進為鍍層外觀均勻一致。通過增加噴丸處理和化學鍍高磷鎳、化學鍍低磷鎳工藝后，鹽霧試驗后基板從片狀橫向腐蝕改變為點狀縱向腐蝕，可避免基板在使用過程中發生腐蝕時，電子元器件大量脫落風險，提高基板使用安全級別，抗腐蝕保護級別RP從5級提高8級。鹽霧后按照ASTMB571規范對基板鍍層結合力進行檢測，結合力合格。
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“用于提高AL-SiC基板防腐能力的處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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