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AlN雙層薄膜的單電極水聽器

948   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:53
本發明新型結構的壓電水聽器主要包括真空腔，位于真空腔上面的雙層AlN薄膜的壓電結構。位于真空腔上面的壓電層接收到聲波信號時，空腔上的薄膜會產生形變，由于AlN薄膜的壓電效應，薄膜表面會產生極化電荷，從而產生微弱的電信號，通過外部的信號檢測電路來檢測聲波信號。該水聽器由于使用壓電材料AlN薄膜，該壓電薄膜具有聲阻抗低，聲學耦合高、耐高溫高壓、檢測頻帶寬和化學性質穩定等優點。雙層壓電薄膜結構可以充分提高AlN薄膜的壓電性能，基于金屬鉬作為單電極可以簡化工藝，提高成品率。MEMS水聽器聲波信號監測頻帶寬、靈敏度高、與CMOS兼容、無毒，適用于深海領域的聲信號檢測、生物傳感技術以及復雜工業環境中的過程控制等領域。
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