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外延爐尾氣凈化器

1158   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:52
本實用新型涉及一種廢氣處理裝置,特別是涉及一種對EPI、PLOY或PECVD化學氣相沉積工藝尾氣進行凈化處理的外延爐尾氣凈化器。它具有PID控制器(35)、實時檢測外延爐尾氣凈化器的進氣口(8)的負壓情況的負壓檢測裝置(34)和控制循環泵組(21)的電機的轉速的變頻器(36),負壓檢測裝置(34)安裝在進氣口(8)處,負壓檢測裝置(34)接PID控制器(35)的輸入端,變頻器(36)接PID控制器(35)的輸出端。本實用新型的外延爐尾氣凈化器能實時檢測外延爐的尾氣排放量,根據外延爐尾氣排放量控制電機轉速,在尾氣排放比較少的情況下,控制電機低速運轉,達到節能的效果。
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“外延爐尾氣凈化器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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